Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев
Другие варианты заглавия: : Нанолитография - процессы и оборудование, rusЯзык: русский.Выходные данные: Долгопрудный : Интеллект, 2016Физическая характеристика: 319 с. : ил. ; 22 см.ISBN: 9785915592154 Библиография: Библиогр.: с. 314-319 (111 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Применение литографии -- Руководства, пособия и т.п | Нанолитография -- Руководства, пособия и т.п Другие классификации: ( rubbk ) 30.36я73 ; З844.15-06я7-1 ; М831я7-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Расмотрены основные виды процессов нанолитографии в производстве интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами
Библиогр.: с. 314-319 (111 назв.)