Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники (Запись № 2672169)
[ простой вид ]
| 000 -МАРКЕР | |
|---|---|
| контрольное поле | 01997nam0a2200361 i 4500 |
| 001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ | |
| контрольное поле | RU\NLR\bibl\1882089 |
| 005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ | |
| контрольное поле | 20240921092024.0 |
| 010 ## - МЕЖДУНАРОДНЫЙ СТАНДАРТНЫЙ НОМЕР КНИГИ (ISBN) | |
| Номер (ISBN) | 9785815808676 |
| Тираж | 120 |
| 021 ## - НОМЕР ГОСУДАРСТВЕННОЙ РЕГИСТРАЦИИ | |
| Код страны | российская федерация |
| Номер | 2012-15044 |
| Номер Листа государственной регистраци | 1130 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА | |
| Идентификатор записи | (nilc)RSL-KNO-005402475 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА | |
| Идентификатор записи | (NLR Aleph) 001871849 |
| 100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ | |
| Данные общей обработки | 20120312d2011 u y0rusy50 ca |
| 101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | русский |
| 102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА | |
| Страна публикации | российская федерация |
| 105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ | |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе | a ||||||||| |
| 200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ | |
| Основное заглавие | Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники |
| Сведения, относящиеся к заглавию | учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 211000 "Конструирование и технология электронных средств" и 210100 "Электроника и наноэлектроника" |
| Первые сведения об ответственности | В.Е. Филимонов, Н.И. Сушенцов |
| Последующие сведения об ответственности | М-во образования и науки Рос. Федерации, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Мар. гос. техн. ун-т" |
| 210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР. | |
| Место издания, распространения и т.д. | Йошкар-Ола |
| Имя издателя, распространителя и т. д. | МарГТУ |
| Дата издания, распространения и т.д. | 2011 |
| 215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА | |
| Специфическое обозначение материала и объем | 159 с. |
| Другие сведения о физической характеристике | ил. |
| Размеры | 20 |
| 320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ | |
| Текст примечания | Библиогр.: с. 157-159 (24 назв.) |
| 606 1# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ | |
| Наименование темы | Интегральные схемы |
| Формальный подзаголовок | Учебные издания для высших учебных заведений |
| Тематический подзаголовок | Подложки |
| -- | Обработка |
| Системный номер авторитетной/нормативной записи | 1771612 |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи | RU\NLR\auth\66795590 |
| 610 0# - НЕКОНТРОЛИРУЕМЫЕ ПРЕДМЕТНЫЕ ТЕРМИНЫ | |
| Предметный термин | химическое травление |
| 686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ | |
| Индекс | З844.1-060.14я73-1 |
| Код системы | |
| 686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ | |
| Индекс | З844.15-06я73-1 |
| 700 #1 - ИМЯ ЛИЦА - ПЕРВИЧНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ | |
| Начальный элемент ввода | Филимонов |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | В. Е. |
| Расширение инициалов личного имени | Виталий Евгеньевич |
| Код отношения | Автор |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ | |
| Начальный элемент ввода | Сушенцов |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | Н. И. |
| Расширение инициалов личного имени | Николай Иванович |
| Код отношения | Автор |
| 801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ | |
| Страна | российская федерация |
| Организация | RuMoRKP |
| Дата составления | 20120312 |
| Правила каталогизации | rcr |
| 801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ | |
| Страна | российская федерация |
| Организация | РГБ |
| Дата составления | 20120312 |
| 801 #2 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ | |
| Страна | российская федерация |
| Организация | NLR |
| Дата составления | 20120320 |
| Правила каталогизации | rcr |
| 830 ## - ОБЩЕЕ ПРИМЕЧАНИЕ, СОСТАВЛЕННОЕ КАТАЛОГИЗАТОРОМ | |
| Текст примечания | авт. по кн. |
| 942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС) | |
| Тип экземпляра АБИС | Книга |
| 980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ | |
| Название коллекции | НБР |
Нет доступных экземпляров.