Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 211000 "Конструирование и технология электронных средств" и 210100 "Электроника и наноэлектроника" / В.Е. Филимонов, Н.И. Сушенцов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Мар. гос. техн. ун-т"
Язык: русский.Выходные данные: Йошкар-Ола : МарГТУ, 2011Физическая характеристика: 159 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 9785815808676 Библиография: Библиогр.: с. 157-159 (24 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Подложки -- Обработка Неконтролируемые предметные термины: химическое травлениеДругие классификации: ( ) З844.1-060.14я73-1 ; З844.15-06я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 157-159 (24 назв.)