Численное моделирование диффузии примесей III и V групп в кремнии при высокотемпературной ионной имплантации (Запись № 7810574)

Подробности
000 -МАРКЕР
контрольное поле 01444nam0a22003131 4500
001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ
контрольное поле rc\33886
005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ
контрольное поле 20250612172505.0
035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА
Идентификатор записи (NLR Aleph) 008751570
100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ
Данные общей обработки 20021216d1991 |||y0rusy50 ca
101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА
Язык текста, звукозаписи и т.д. русский
102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА
Страна публикации Российская Федерация
105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ
Кодированные данные о монографическом текстовом документе a |||||||||
200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ
Основное заглавие Численное моделирование диффузии примесей III и V групп в кремнии при высокотемпературной ионной имплантации
Первые сведения об ответственности Т.В. Бондарева, В.И. Кольдяев, Л.Н. Александров
210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР.
Место издания, распространения и т.д. Новосибирск
Имя издателя, распространителя и т. д. Ин-т физики полупроводников
Дата издания, распространения и т.д. 1991
215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА
Специфическое обозначение материала и объем [1], 20 c.
Другие сведения о физической характеристике ил.
Размеры 19
225 1# - СЕРИЯ
Основное заглавие серии Препринт
Сведения об ответственности АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников
Обозначение тома 4
320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ
Текст примечания Библиогр.: с. 16-17
606 1# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ
Наименование темы Кремний
Тематический подзаголовок Легирование ионное
Код системы nlr_sh1
606 1# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ
Наименование темы Кремний
Тематический подзаголовок Примеси
-- Диффузия
Код системы nlr_sh1
700 #1 - ИМЯ ЛИЦА - ПЕРВИЧНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Начальный элемент ввода Бондарева
Часть имени, кроме начального элемента ввода Т.В.
Расширение инициалов личного имени Татьяна Владимировна
701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Начальный элемент ввода Кольдяев
Часть имени, кроме начального элемента ввода В.И.
Расширение инициалов личного имени Виктор Исаакович
701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Начальный элемент ввода Александров
Часть имени, кроме начального элемента ввода Л.Н.
Расширение инициалов личного имени Леонид Наумович
801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна Российская Федерация
Организация NLR
Правила каталогизации psbo
801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна Российская Федерация
Организация ELAR
Источник данных rusmarc
801 #2 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна Российская Федерация
Организация NLR
Дата составления 20050524
Источник данных rusmarc
852 ## - МЕСТОНАХОЖДЕНИЕ И ШИФР ХРАНЕНИЯ
Идентификатор организации NLR
Шифр хранения (Call Number) 91-4/9815
942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС)
Тип экземпляра АБИС Книга
980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ
Название коллекции Национальная библиография
Экземпляры
Тип экземпляра Дата поступления Библиотека постоянного хранения Библиотека текущего хранения Место хранения Шифр хранения Штрих-код Статус экземпляра
Книга 26.10.2013 РНБ (Московский) РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года 91-4/9815 8751570-10