Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : (На прим. InSb); Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н.; Спец. 05.13.16; Спец. 05.27.06 / [Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии (МИТХТ) им. М.В. Ломоносова]
Язык: русский.Выходные данные: М. : 1998Физическая характеристика: 18 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр.: с.18 (8 назв.).Другие классификации: ( oksvnk ) 05.13.16 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с.18 (8 назв.)