Диффузионное легирование в современной технологии кремниевых ИС / Готра З.Ю., Осадчук В.В., Кучмий Г.Л.
Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1990Физическая характеристика: 64 с. : ил. ; 21 см.Серия: Зарубежная электронная техника ; 5 (348)Примечания: Описано по 3 с. На тит. л. и обл. только загл. сер..Библиография: Библиогр.: с. 62-64. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2814 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5483901-10 |
Описано по 3 с. На тит. л. и обл. только загл. сер.
Библиогр.: с. 62-64