Российская национальная библиография

ГлавнаяО проектеКнижная память России Расширенный поиск
Описание RUSMARC Карточка
Книга

Применение анизотропного травления кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов : (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1967-81 гг.) / В.В. Бачурин, В.В. Полехов, А.И. Пыхтунова

Автор: Бачурин, Виктор ВасильевичАвтор (Альтер.): Полехов, В.В.;Пыхтунова, А.И.Язык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИ "Электроника", 1982Физическая характеристика: 51 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 859Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 45-51. Тип экземпляра: Книга
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Экземпляры
Тип экземпляра Текущая библиотека Шифр хранения Статус Срок возврата Штрих-код
Книга РНБ (Московский) Русский журнальный фонд П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) Доступно 6091427-10
Просмотр РНБ (Московский) полок, Местонахождение: Русский журнальный фонд Закрыть просмотр полки (Скрывает браузер полки)
П51/94 Разделение пластин твердых и хрупких материалов алмазными кругами, По данным зарубеж. печати за 1977-1982 гг. П51/94 Фотоприемные и регистрирующие устройства в лазерных опорных системах, (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1965-1982 гг.) П51/94 Определение стоимости строительства на начальных этапах проектирования предприятий, (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1957-1982 гг.) П51/94 Применение анизотропного травления кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов, (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1967-81 гг.) П51/94 Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов, (По данным отеч. и зарубеж. лит. за 1965-1981 годы) П51/94 Дифракция быстрых электронов и ее применение в технологии молекулярно-лучевой эпитаксии, (По данным отеч. и зарубеж. лит. за 1965-1981 гг.) П51/94 Современные представления о механизме электропроводности оксидного диэлектрика конденсаторов: (по данным отеч. и зарубеж. печати за 1956-1981 гг.)

В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР

Библиогр.: с. 45-51

Связаться с нами:

тел.: 8-800-100-01-96 , 8(812)310-71-37

e-mail: office@nlr.ru