Уточнить поиск
Наличие
-
Авторы
- 070 Петрова Г. В. канд. техн. наук 1949- Галина Васильевна (1)
- 475 СССР Министерство электронной промышленности (1)
- Б.А. Лапшинов (1)
- Багаева Т. И. Татьяна Ивановна 220 (1)
- Баканов Г. Ф. Геннадий Федорович (1)
- Г.Ф. Баканов, Г.В. Петрова (1)
- Ивин В. В. (1)
- Ивин В. В., Махвиладзе Т. М. (1)
- Лапшинов Б. А. Борис Алексеевич (1)
- М-во образования РФ, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" (1)
- М-во образования и науки Рос. Федерации, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т)" (1)
- Махвиладзе Тариэль Михайлович 070 (1)
- Министерство электронной промышленности СССР (1)
- Мокеев О. К. Олег Константинович (1)
- О.К. Мокеев, А.С. Романов (1)
- Р. П. Сейсян (1)
- Романов А. С. физик, полупроводники Александр Сергеевич (1)
- Сейсян Р. П. 1936-2024 Рубен Павлович (1)
- Физ.-технол. ин-т Рос. акад. наук (1)
- составитель Т. И. Багаева (1)
- Показать больше
- Показать меньше
-
Item types
- Книга (6)
-
Места хранения
-
Заглавие серии
- N 22 (1)
- Препринт (1)
- Профессионально-техническое образование (1)
- Учебное пособие (1)
-
Предметные рубрики
- Авторефераты диссертаций (1)
- Интегральные схемы (6)
- Микроэлектронные схемы интегральные - производство - математические исследования (1)
- Полупроводниковые приборы (1)
- Применение нанолитографии (1)
- Производство (6)
- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы (1)
- Учебники для начального профессионального образования (1)
- Учебные издания (1)
- Учебные издания для высших учебных заведений (2)
- Фотолитографический метод (6)
- Фотолитография - математические исследования (1)
- Показать больше
- Показать меньше
-
Коллекции
-
Библиотека хранения
- РНБ (Московский) (4)
-
Языки
- английский (eng) (1)
- русский (rus) (6)