Материалы и технология толстых пленок : Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы" / В.З. Петрова, А.И. Тельминов, Р.Ф. Шутова ; Под. ред. к.т.н. А.И. Тельминова ; М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1997Физическая характеристика: 260 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-7256-0156-0 Библиография: Библиогр.: с. 256-258.Предметная рубрика - Тема: Толстые пленки -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Толстые пленки -- Учебные издания для высшей школы Другие классификации: З844.15я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 98-3/3676 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 8108-10 |
Библиогр.: с. 256-258