Геттерирование примесей и дефектов в полупроводниках / В.А. Перевощиков, В.Д. Скупов ; М-во образования РФ, Нижегор. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Н. Новгород : Изд-во Нижегор. ун-та, 2002Физическая характеристика: 20 см.Примечания: На 4-й с. обл. авт.: Перевощиков В.А. - д.х.н., проф., Скупов В.Д. - к.ф.-х.н..Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Примеси | Полупроводники -- Дефекты Другие классификации: З843.301 ; З843.308 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На 4-й с. обл. авт.: Перевощиков В.А. - д.х.н., проф., Скупов В.Д. - к.ф.-х.н.
в производстве микроэлектроники