Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учебное пособие по курсам "Технологические ионно-плазменные установки" и "Промышленные магнетронные установки" / М. К. Марахтанов, Д. В. Духопельников, Е. В. Воробьев ; под ред. А. Б. Ивашкина ; Московский гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана, [Фак. "Энергомашиностроение", Каф. "Плазменные энергетические установки"]
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Изд-во МГТУ, 2014Физическая характеристика: 91, [2] с. : ил. ; 20 см.ISBN: 9785703840290 Серия: Учебное пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана Библиография: Библиогр. в конце кн. (19 назв.).Предметная рубрика - Тема: Вакуумные насосы -- Проектирование -- Учебные издания для высших учебных заведений | Материалы -- Плазменная обработка -- Оборудование -- Проектирование -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З776-02я73-1 ; Ж624-5-02я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр. в конце кн. (19 назв.)