Механизмы образования дефектов при гетероэпитаксии широкозонных нитридов AIN и GaN на кремнии и сапфире : учебное пособие / А.В. Добрынин, В.К. Прокофьева, М.О. Никифоров ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 2019Физическая характеристика: 132 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 9785725609325 Библиография: Библиогр.: с. 126-130 (57 назв.).Предметная рубрика - Тема: Нитриды галлия -- Тонкие пленки -- Дефекты | Нитриды алюминия -- Тонкие пленки -- Дефекты | Нитриды галлия -- Гетероэпитаксия | Нитриды алюминия -- Гетероэпитаксия | Тонкие пленки -- Нанесение на подложку Другие классификации: З843.324 ; З844.13-060.7 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 126-130 (57 назв.)