Подробности: Технология кремниевой наноэлектроники , учебное пособие , для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника"

Книга

Технология кремниевой наноэлектроники : учебное пособие; для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / Т.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Том. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники

Автор: Данилина, Тамара ИвановнаАвтор (Альтер.): Кагадей, Валерий Алексеевич ;
Анищенко, Екатерина ВалентиновнаЯзык: русский.Выходные данные: Томск : ТУСУР, 2015Физическая характеристика: 318 с. : ил., цв. ил. ; 20 см.ISBN: 9785868897139 Издание: : 2-е изд.Библиография: Библиогр.: с. 317-318 (23 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство | Кремний -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Наноструктуры УДК: 621.38Другие классификации: З843.322.4я73-1 ; З844.15-06я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: Книга

Нет реальных экземпляров для этой записи

Библиогр.: с. 317-318 (23 назв.)