Подробности: Применение анизотропного травления кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов , (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1967-81 гг.)

Книга

Применение анизотропного травления кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов : (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1967-81 гг.) / В.В. Бачурин, В.В. Полехов, А.И. Пыхтунова

Автор: Бачурин, Виктор ВасильевичАвтор (Альтер.): Полехов, В.В.;Пыхтунова, А.И.Язык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИ "Электроника", 1982Физическая характеристика: 51 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 859Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 45-51. Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский журнальный фонд	П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		6091427-10

В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР

Библиогр.: с. 45-51