Очистка поверхности кремния нагреванием в высоком вакууме / Переводчик Шереметьева И.Л. ; ГлавНИИ при Госэкономсовете СССР. Гос. науч.-исслед. и проектный ин-т редкометал. пром-сти "Гиредмет"
Язык: русский.Выходные данные: [Москва : Отд. науч.-техн. информации], 1961 [обл. 1960]Физическая характеристика: 31 с. : ил. ; 20 см.Серия: Перевод ; № 11 (99)Примечания: Перед загл. авт.: Ф. Аллен, Дж. Эйзингер, Х. Хагструм, Дж. Лоу; Статья из "J. of applied physics", 1959, v. 30, № 10.Библиография: Библиогр.: с. 31 (20 назв.).Предметная рубрика - Тема: Кремний -- Очистка поверхности -- Иностранный опыт Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж Хран | 61-4/17439 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 9027162-10 |
Перед загл. авт.: Ф. Аллен, Дж. Эйзингер, Х. Хагструм, Дж. Лоу
Статья из "J. of applied physics", 1959, v. 30, № 10
Библиогр.: с. 31 (20 назв.)