Processes of micro-and nanotechnology : учебное пособие / В. В. Витько, А. А. Семенов, П. Ю. Белявский [и др.] ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова (Ленина)
Перевод заглавия, сделанный каталогизатором: : Процессы микро- и нанотехнологийЯзык: английский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Издательство СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2021Физическая характеристика: 83, [2] с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-7629-2816-8 Библиография: "List of the recommended lit.": с. 83; Авт. указаны на обороте тит. с.Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Осаждение из плазмы | Тонкие пленки -- Нанесение распылением -- Учебные издания для высших учебных заведений Неконтролируемые предметные термины: нанесение пленочных покрытий | фотолитография | микропрофилирование многокомпанентных материаловУДК: 811.111(075.8), 4Другие классификации: ( ) З844.1-06я73-1 ; З844.13-060.7я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Иностранный книжный фонд | Ик 2022-4/4 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-4325 | Доступно | 1-3609188 |
Дано краткое описание физических моделей корпускулярного взаимодействия с твердым веществом и аналитический подход к физическим процессам, происходящим при осаждении и травлении пленок в результате ионно-плазменного распыления.
"List of the recommended lit.": с. 83
Авт. указаны на обороте тит. с