Вестник Российского фонда фундаментальных исследований. 2023, № 2 (118) [темат. вып.]: Тематический блок: Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем
русский (rus)/Тематический блок: Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем .Тематический блок: Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем.Тематический блок: Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем.Б. м./, 2023 ( ). - 2023.Тематический блок: Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем. Б. м., 2023 .Вестник Российского фонда фундаментальных исследований / Рос. фонд фундам. исслед.2023, № 2 (118) [темат. вып.]Сверхбольшие интегральные схемы -- Металлизация -- Сборники/З844.15-060.7я43/