Оптические основы контактной фотолитографии
83-3/1654 русский (rus)/Оптические основы контактной фотолитографии / Г.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис.Оптические основы контактной фотолитографии / Г.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис.Оптические основы контактной фотолитографии.М./Радио и связь/, 1982 ( ). - Радио и связь, 1982. - 103 с. : ил. ; 20 см. - (Массовая библиотека инженера ; Вып. 33).Оптические основы контактной фотолитографии. М., 1982 .
Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.). Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.).
Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.). Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.).