Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Кн. 6: Нанесение пленок в вакууме
89-3/13958 Т1 З844.1/Т-384 - 30000 экз.5-06-000308-6/русский (rus)/Нанесение пленок в вакууме / [В.Е. Минайчев].Нанесение пленок в вакууме / [В.Е. Минайчев].Нанесение пленок в вакууме.Б. м./, 1989 ( ). - 1989. - 109, [1] с. : ил.Нанесение пленок в вакууме. Б. м., 1989 .
Библиогр.: с. 108 (6 назв.). Библиогр.: с. 108 (6 назв.).Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : [Учеб. пособие для ПТУ : В 10 кн.]Кн. 6
Библиогр.: с. 108 (6 назв.). Библиогр.: с. 108 (6 назв.).Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : [Учеб. пособие для ПТУ : В 10 кн.]Кн. 6