Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния
П51/94 [П1671-73]/русский (rus)/Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника".Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника".Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния.Москва/Б. и./, 1972 ( ). - Б. и., 1972. - 24 с. : граф. ; 20 см. - (Обзоры по электронной технике ; Вып. 42 ; Вып. 9).Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния. Москва, 1972 .
Библиогр.: с. 21-23. Библиогр.: с. 21-23.
Библиогр.: с. 21-23. Библиогр.: с. 21-23.