Описание RUSMARC Карточка

Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике

П51/94 русский/Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике / М-во электонной пром-сти СССР. ЦНИИ"Электроника".Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике / М-во электонной пром-сти СССР. ЦНИИ"Электроника".Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике.Москва/Б. и./, 1977 ( ). - Б. и., 1977. - 80 с. : ил. ; 20 см. - (Обзоры по электронной технике ; Вып. 472 ; Вып. 7).Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике. Москва, 1977 .
     Авт. указаны на обл. - Библиогр.: с. 71-80. Библиогр.: с. 71-80. Резвый, Р.Р., Ростислав Ростиславович .Р.Р.Ростислав РостиславовичФинарев /
Связаться с нами:

тел.: 8-800-100-01-96 , 8(812)310-71-37

e-mail: office@nlr.ru