Оптико-механическое оборудование микроэлектроники, Учеб. пособие по курсу "Технол. оборуд. микроэлектроники"
89-4/14242 русский (rus)/Оптико-механическое оборудование микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Технол. оборуд. микроэлектроники" / Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники.Оптико-механическое оборудование микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Технол. оборуд. микроэлектроники" / Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники.Оптико-механическое оборудование микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Технол. оборуд. микроэлектроники".М./МИЭТ/, 1989 ( ). - МИЭТ, 1989. - 58 с. : ил. ; 20 см.Оптико-механическое оборудование микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Технол. оборуд. микроэлектроники". М., 1989 .
Библиогр.: с. 57. Библиогр.: с. 57.
Библиогр.: с. 57. Библиогр.: с. 57.