Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества
2001-4/2337 2001-4/2337 [2000-45946]/русский (rus)/Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества / Е.П. Прокопьев, С.П. Тимошенков, А.Л. Суворов и др.Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества / Е.П. Прокопьев, С.П. Тимошенков, А.Л. Суворов и др.Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества.М./ИТЭФ/, 2000 ( ). - ИТЭФ, 2000. - 19, [1] с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / Ин-т теорет. и эксперим. физики ; 24-00).Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества. М., 2000 .
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 18-20. Библиогр.: с. 18-20.Кремний-диэлектрик, система -- Производство/Кремниевые структуры -- Производство/47/32.844.1/З852-06/З844.15-06/
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 18-20. Библиогр.: с. 18-20.Кремний-диэлектрик, система -- Производство/Кремниевые структуры -- Производство/47/32.844.1/З852-06/З844.15-06/