Вакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техники, Учеб. пособие, [Для студентов IV-VI курсов спец. 2006 - "Электрон. машиностроение"]
92-4/2577 русский (rus)/Вакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техники : Учеб. пособие : [Для студентов IV-VI курсов спец. 2006 - "Электрон. машиностроение"] / В.В. Вислоух, Н.Я. Дривинг, Е.К. Куломзин ; Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк. Моск. ин-т электрон. машиностроения.Вакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техники : Учеб. пособие : [Для студентов IV-VI курсов спец. 2006 - "Электрон. машиностроение"] / В.В. Вислоух, Н.Я. Дривинг, Е.К. Куломзин.Вакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техники : Учеб. пособие : [Для студентов IV-VI курсов спец. 2006 - "Электрон. машиностроение"].М./Моск. ин-т электрон. машиностроения/, 1991 ( ). - Моск. ин-т электрон. машиностроения, 1991. - 54 с. : ил. ; 19 см.Вакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техники : Учеб. пособие : [Для студентов IV-VI курсов спец. 2006 - "Электрон. машиностроение"]. М., 1991 .
Библиогр.: с. 53. Библиогр.: с. 53.Вакуумное оборудование для производства микросхем -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/nlr_sh1/
Библиогр.: с. 53. Библиогр.: с. 53.Вакуумное оборудование для производства микросхем -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/nlr_sh1/