Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодержащий атмосфере (Запись № 5898950)
[ простой вид ]
| 000 -МАРКЕР | |
|---|---|
| контрольное поле | 01263nam0a22002771 4500 |
| 001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ | |
| контрольное поле | rc\620034 |
| 005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ | |
| контрольное поле | 20031121164053.1 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА | |
| Идентификатор записи | (NLR Aleph) 005863034 |
| 100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ | |
| Данные общей обработки | 20031121d1986 u |0rusy50 ca |
| 101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | русский |
| 102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА | |
| Страна публикации | Российская Федерация |
| 105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ | |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе | a ||||||||| |
| 200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ | |
| Основное заглавие | Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодержащий атмосфере |
| Первые сведения об ответственности | К.А. Валиев, Т.М. Махвиладзе, С.Б. Пекарчук |
| 210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР. | |
| Место издания, распространения и т.д. | М. |
| Имя издателя, распространителя и т. д. | Б. и. |
| Дата издания, распространения и т.д. | 1986 |
| 215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА | |
| Специфическое обозначение материала и объем | [2], 33 с. |
| Другие сведения о физической характеристике | граф. |
| Размеры | 20 |
| 225 1# - СЕРИЯ | |
| Основное заглавие серии | Препринт |
| Сведения об ответственности | АН СССР, Ин-т общ. физики. Отд. микроэлектроники |
| Обозначение тома | № 360 |
| Наименование части | Физика твердого тела |
| 320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ | |
| Текст примечания | Библиогр.: с. 23-24 |
| 700 #1 - ИМЯ ЛИЦА - ПЕРВИЧНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ | |
| Начальный элемент ввода | Валиев |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | К. А. |
| Даты | 1931- |
| Расширение инициалов личного имени | Камиль Ахметович |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ | |
| Начальный элемент ввода | Махвиладзе |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | Т. М. |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ | |
| Начальный элемент ввода | Пекарчук |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | С. Б. |
| Расширение инициалов личного имени | Сергей Борисович |
| 801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ | |
| Страна | Российская Федерация |
| Организация | NLR |
| Правила каталогизации | psbo |
| 801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ | |
| Страна | Российская Федерация |
| Организация | ELAR |
| Источник данных | rusmarc |
| 852 ## - МЕСТОНАХОЖДЕНИЕ И ШИФР ХРАНЕНИЯ | |
| Идентификатор организации | NLR |
| Шифр хранения (Call Number) | 88-4/3720 |
| 942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС) | |
| Тип экземпляра АБИС | Книга |
| 980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ | |
| Название коллекции | Национальная библиография |
| Тип экземпляра | Дата поступления | Библиотека постоянного хранения | Библиотека текущего хранения | Место хранения | Шифр хранения | Штрих-код | Статус экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | 26.10.2013 | РНБ (Московский) | РНБ (Московский) | Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 88-4/3720 | 5863034-10 |