Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте / Силаков М.В., Бабушкин Г.А., Валиев К.А. и др.
Язык: русский.Выходные данные: М. : МАКС Пресс, 2003Физическая характеристика: 40 с. : ил. ; 21 см.Серия: Препринт ; N 25Библиография: Библиогр.: с. 37-40 (34 назв.).Предметная рубрика - Тема: МОП-приборы -- Производство -- Применение электронной литографии | МОП-приборы -- Электронные процессы | Резисты -- Физические свойства -- Влияние тормозного рентгеновского излученияДругие классификации: З852.39-06 ; З844.15-040.7-01Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2004-4/1059 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 3042 | Доступно | 618861 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2004-4/1059 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 3042 | Доступно | 618865 |
тормозное рентгеновское изл.
Библиогр.: с. 37-40 (34 назв.)