Подробности: Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии , учебное пособие , [для студентов специальностей "Физическая электроника" (210101), "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (210104), "Микросистемная техника" (210108) и студентов направлений подготовки "Нанотехнологии и микросистемная техника" (222900), "Электроника и наноэлектроника" (210100)]

Книга

Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : учебное пособие; [для студентов специальностей "Физическая электроника" (210101), "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (210104), "Микросистемная техника" (210108) и студентов направлений подготовки "Нанотехнологии и микросистемная техника" (222900), "Электроника и наноэлектроника" (210100)] / И.И. Амиров, В.Ф. Лукичев, А.А. Мельников, А.С. Шумилов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Моск. гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики"

Автор (Альтер.): Амиров, Ильдар Искандерович ;
Лукичев, Владимир Фёдорович ;
Мельников, Александр Александрович (радиотехник) ;
Шумилов, Андрей СтаниславовичЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики", 2013Физическая характеристика: 36 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 9785733909745 Библиография: Библиогр.: с. 32-34 (19 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство УДК: 621.38:533.9(075.8)Другие классификации: З844.15-06я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: Книга

Нет реальных экземпляров для этой записи

Библиогр.: с. 32-34 (19 назв.)