Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков : [монография / Климов А. С., доктор технических наук, Медовник А. В., Юшков Ю. Г., , кандидаты технических наук, доценты и др.] ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Язык: русский.Выходные данные: Томск : Изд-во ТУСУРа, 2017Физическая характеристика: 186, [2] с. : ил., табл. ; 20 см.ISBN: 978-5-86889-773-3 Примечания: Авт. указаны на обороте тит. л. и в конце кн..Библиография: Библиогр. в конце разд..Предметная рубрика - Тема: Плазменные источники электронов | Диэлектрики -- Электронно-лучевая обработка Другие классификации: З234.08Коллекция: НБР ; Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Авт. указаны на обороте тит. л. и в конце кн.
Библиогр. в конце разд.