Micro- electro-mechanical system = МЭМС - микроэлектромеханические системы : training manual / N. E. Korobova & L. R. Boev ; edited by doctor of technical sciences S. P. Timoshenkov ; Ministry of science and higher education, National research university of electronic technology - MIET
Параллельное заглавие: : z45790МЭМС - микроэлектромеханические системы, русскийЯзык: английский.Выходные данные: Moscow : MIET, 2019Физическая характеристика: 156 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 978-5-7256-0923-3 Библиография: Библиогр.: с. 154.Предметная рубрика - Тема: Микроэлектромеханические системы -- Учебные изданияДругие классификации: З26я7 ; З291я7Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Иностранный книжный фонд | Ик 2020-3/452 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-1672 | Доступно | 1-3207402 |
Библиогр.: с. 154