Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие; [для обеспечения обучения по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлениям подготовки: 09.03.01 "Информатика и вычислительная техника" (уровень бакалавриата) и 12.03.01 "Приборостроение" (уровень бакалавриата)] / В. П. Михайлов, К. М. Моисеев, Ю. В. Панфилов ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023Физическая характеристика: 213 с. : ил., табл. ; 24 см.ISBN: 978-5-7038-6098-4; 978-5-7038-6155-4 Серия: Библиотека "Приборостроение" ; т. 2 . Приоритет 2030 Примечания: На обороте тит. с. ссылка на электрон. версию изд..Библиография: Библиогр.: с. 163.Предметная рубрика - Тема: Электронные приборы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство -- Вакуумное оборудование | Тонкие пленки -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Нанесение в вакууме Другие классификации: З85-06-5я73-1 ; З844.13-060.7я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Зал технической, медицинской и естественнонаучной литературы | Доступно | ERR-317539 | ||||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2024-7/1720 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-1071 | Доступно | 1-4534336 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2024-7/1720 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-1071 | Доступно | 1-4534337 | ||
| Книга | РНБ (Садовая) Универсальный читальный зал | Доступно | ERR-317642 |
На обороте тит. с. ссылка на электрон. версию изд.
Электронное приборостроение.
Библиогр.: с. 163