Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники : учебное пособие для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" всех форм обучения / В. И. Наумов, Г. М. Мочалов ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева"
Язык: русский.Выходные данные: Нижний Новгород : Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева, 2023Физическая характеристика: 266 с. : ил., табл. ; 20 см.ISBN: 978-5-502-01726-8 Библиография: Библиогр.: с. 266 (9 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство -- Технологические процессы | Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство -- Оборудование Другие классификации: З844.15-06я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 266 (9 назв.)