Физико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация : монография / О. В. Александров, Н. Н. Афонин, А. И. Дусь ; Министерство просвещения Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный педагогический университет"
Язык: русский.Выходные данные: Воронеж : Воронежский государственный педагогический университет, 2025Физическая характеристика: 210 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-907961-52-4 Примечания: На 4-й с. обл. авт.: Александров О. В., д-р физ.-мат. наук, проф., Афонин Н. Н., д-р хим. наук, Дусь А. И., канд. физ.-мат. наук, доц..Библиография: Библиогр. в конце гл..Предметная рубрика - Тема: Кремний -- Окисление термическое | Кремний -- Примеси -- Диффузия -- Математическое моделирование | Кремний -- Примеси -- Сегрегация -- Математическое моделирование | Интегральные схемы полупроводниковые -- Моделирование Другие классификации: З843.322.408 ; З844.15-02Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На 4-й с. обл. авт.: Александров О. В., д-р физ.-мат. наук, проф., Афонин Н. Н., д-р хим. наук, Дусь А. И., канд. физ.-мат. наук, доц.
Библиогр. в конце гл.