Тематические указатели литературы. Вып.178: Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками / А.П. Казаков, Я.П. Рокицкая
Сводное описание: Тематические указатели литературы / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Язык: русский.Выходные данные: Б. м., 1971Серия: ; Вып.178Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи