Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" : [проектирование ИС с проектными нормами менее 100 нм, интегральная наноэлектроника] / В.И. Шевяков ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 2011Физическая характеристика: 95 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-7256-0647-8 Серия: Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" Библиография: Библиогр.: с. 93 (6 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Металлизация | Кремниевые структуры -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З843.322.4я73-1 ; З844.15я73-1Коллекция: Национальная библиография ; НБР Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2011-4/9781 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5855 | Доступно | 3531928 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2011-4/9781 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5855 | Доступно | 3531929 |
Библиогр.: с. 93 (6 назв.)