Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники" : [физико-химические и конструктивно-технологические принципы создания устройств наноэлектроники, технология наноэлектроники] / В.К. Неволин ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 2011Физическая характеристика: 163 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 978-5-7256-0650-8 Серия: Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" Библиография: Библиогр. в конце гл..Предметная рубрика - Тема: Наноэлектроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений | Зондовая микроскопия -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.1-01я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2011-3/35696 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5855 | Доступно | 3531940 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2011-3/35696 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5855 | Доступно | 3531941 |
Библиогр. в конце гл.