Технология литографических процессов : учебное пособие; [для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"] / Б.А. Лапшинов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т)"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Московский государственный институт электроники и математики, 2011Физическая характеристика: 94 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-94506-296-2 Библиография: Библиогр.: с. 93 (4 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: ( ) З844.15-060.6я73-1 ; З844.15-06я73-1Коллекция: Национальная библиография ; НБР Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2011-4/10352 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6258 | Доступно | 1-1546076 |
Библиогр.: с. 93 (4 назв.)