Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" / С.П. Тимошенков, В.В. Калугин ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Нац. исслед. ун-т "МИЭТ"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 2011Физическая характеристика: 199 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-7256-0663-8 Серия: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" Предметная рубрика - Тема: Кремний-диэлектрик, система -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство | Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство Другие классификации: З852-06я73-1 ; З844.15-06я73-1Коллекция: Национальная библиография ; НБР Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2012-3/1625 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 7275 | Доступно | 3576808 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2012-3/1625 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 7275 | Доступно | 3576828 |