Оптимизация технологического процесса производства микроэлектронных схем / В.И. Митасов, В.И. Еремеевский
Сводное описание: Обзоры по электронной техникеЯзык: русский.Выходные данные: Б. м., 1975Серия: ; Вып.296Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи