Обзоры по электронной технике. Вып.557: Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме : (По данным отечественной и зарубежной печати за 1962-1977 года) / В.А. Лабунов, В.П. Пархутик
Сводное описание: Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Язык: русский.Выходные данные: 1978Серия: ; Вып.557Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи