Обзоры по электронной технике. Вып.1370: Получение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем / Т.Г. Духанова и др.
Сводное описание: Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Язык: русский.Выходные данные: Б. м., 1988Серия: ; Вып.1370Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи