Обзоры по электронной технике. Вып.845: Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов / В.В. Степанов, В.В. Сысоев
Сводное описание: Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Язык: русский.Выходные данные: Б. м., 1981Серия: ; Вып.845Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи