Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники : [учебное пособие] / Федер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования Моск. гос. ин-т электроники и математики (технический университет)
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Московский государственный институт электроники и математики, 2008Физическая характеристика: 34 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-94506-200-9 Библиография: Библиогр.: с. 33 (8 назв.).Предметная рубрика - Тема: Полимеры -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Обработка ионно-плазменная | Полимеры -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Применение в радиоэлектронике Другие классификации: З843.414.108я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2008-4/15957 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 3255 | Доступно | 2760370 |
Библиогр.: с. 33 (8 назв.)