Подробности: Фазовый анализ тонких пленок по ожеспектрам

Книга

Фазовый анализ тонких пленок по ожеспектрам / В.Г. Бешенков, Ч.В. Копецкий, Ю.А. Шиянов

Автор: Бешенков, В.Г.Автор (Альтер.): Копецкий, Чеслав Васильевич ;
Шиянов, Юрий АндреевичЯзык: русский.Выходные данные: Черноголовка : Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов, 1988Физическая характеристика: 35 с. : ил. ; 22 см.Серия: Препринт Библиография: Библиогр.: с. 24-25.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	88-6/6206 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		5754907-10

Библиогр.: с. 24-25