Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов : (По данным отеч. и зарубеж. лит. за 1965-1981 годы) / А.Г. Денисов, Е.Я. Черняк, А.А. Козлов
Язык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИ "Электроника", 1982Физическая характеристика: 64 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 893Примечания: В вып. дан. авт.: К. т. н. А.Г. Денисов, К. ф.-м. н. Е.Я. Черняк, А.А. Козлов; В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 60-64. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6093605-10 |
В вып. дан. авт.: К. т. н. А.Г. Денисов, К. ф.-м. н. Е.Я. Черняк, А.А. Козлов
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 60-64