Вакуум-термическое оборудование : Разд. "Оборуд. для получения пленок в вакууме"; Курс лекций для студентов спец. 0643
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИСИС, 1980 (вып. дан. 1981)Физическая характеристика: 68 с. : ил. ; 20 см.Примечания: В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов.Библиография: Библиогр.: с. 67 (10 назв.).Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 81-4/23429 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6422901-10 |
В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов
Библиогр.: с. 67 (10 назв.)