Дефекты кремниевой эпитаксиальной пленки и методы их исследования
Язык: русский.Выходные данные: Баку : СКБ ИФАН, 1982Физическая характеристика: [2], 22 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 50Библиография: Библиогр.: с. 21-22.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 82-4/25556 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6127414-10 |
Библиогр.: с. 21-22