Высокочастотные источники ионов для ионной технологии / Ананьев О.А., Дьяченко [!Дьячков] Б.А., Павлов В.Я.
Язык: русский.Выходные данные: Киев : ИФ, 1990Физическая характеристика: 32, [1] с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 15Примечания: На обл. авт. не указаны.Библиография: Библиогр.: с. 29-33 (53 назв.). Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На обл. авт. не указаны
Библиогр.: с. 29-33 (53 назв.)