Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб. пособие / В.И. Марголин, В.А. Тупик ; М-во образования РФ, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ"
Другие варианты заглавия: : Электронная литография и ионная имплантацияЯзык: русский.Выходные данные: СПб. : ЛЭТИ, 2000Физическая характеристика: 55 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-7629-0297-8 Библиография: Библиогр.: с. 54.Предметная рубрика - Тема: Нанотехнологии -- Учебно-методические пособия для высших учебных заведений | Нанотехнологии -- Учебные издания для высших учебных заведений | Литография электронная -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Литография электронная -- Учебные издания для высшей школы | Ионная имплантация -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Ионная имплантация -- Учебные издания для высшей школы Другие классификации: З844.1-06я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2000-4/3767 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 1120 | Доступно | 55766 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2000-4/3767 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 1120 | Доступно | 55767 |
Библиогр.: с. 54