Подробности: Технология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС , Учеб. пособие

Книга

Технология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС : Учеб. пособие / Д.Д. Гордеев, В.Н. Дягилев, Ю.А. Парменов ; Под ред. к. т. н., доц. Ю.А. Парменова ; Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники

Автор: Гордеев, Дмитрий ДмитриевичАвтор (Альтер.): Дягилев, Владимир Николаевич ;
Парменов, Юрий АлексеевичЯзык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1989Физическая характеристика: 67 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 64-66.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	90-4/14029 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		5537322-10

Библиогр.: с. 64-66