Газоразрядные источники излучения для фотолитографии / М-во электрон. пром-сти СССР. [ЦНИИ "Электроника"]
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1978Физическая характеристика: 34 с., 2 л. табл. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 522Примечания: Перед загл. авт.: А.М. Данильченко, Б.Я. Луцет, В.А. Самодергин [и др.].Библиография: Библиогр.: с. 32-34.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6498518-10 |
Перед загл. авт.: А.М. Данильченко, Б.Я. Луцет, В.А. Самодергин [и др.]
Библиогр.: с. 32-34